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镀覆装置以及基板的膜厚测定方法制造方法及图纸
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文档序号:35058009
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本发明提供能够在镀覆处理时测定基板的膜厚的技术。镀覆装置(1000)具备:镀覆槽(10);基板保持架(20);旋转机构(30);接触部件(50),配置于基板保持架,并且在基板保持架的周向上配置有多个,与基板的下表面的外周缘接触,在镀覆处理时...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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