下载一种嵌入微流道散热的三维集成封装结构及其封装方法的技术资料

文档序号:35027233

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本发明涉及集成电路封装技术领域,具体公开了一种嵌入微流道散热的三维集成封装结构,包括上下键合的盖板层和凹槽层,盖板层包括第一芯片,凹槽层包括第二芯片,第一芯片和第二芯片的两侧分别设有TMV转接芯片,TMV转接芯片的外侧设有绝缘层,绝缘层的外...
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