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一种嵌入微流道散热的三维集成封装结构及其封装方法技术
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文档序号:35027233
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本发明涉及集成电路封装技术领域,具体公开了一种嵌入微流道散热的三维集成封装结构,包括上下键合的盖板层和凹槽层,盖板层包括第一芯片,凹槽层包括第二芯片,第一芯片和第二芯片的两侧分别设有TMV转接芯片,TMV转接芯片的外侧设有绝缘层,绝缘层的外...
该专利属于无锡中微高科电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中微高科电子有限公司授权不得商用。
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