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石墨烯红外探测器制造技术
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下载石墨烯红外探测器的技术资料
文档序号:35026963
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本公开提供一种石墨烯红外探测器,包括:衬底;介质层,形成于衬底上;源电极和漏电极,从介质层的表面延伸至介质层中,其中,源电极与漏电极之间在结构上不对称;石墨烯,形成于介质层、源电极和漏电极的表面;红外敏感半导体薄膜,形成于石墨烯上。该石墨烯...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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