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本申请公开了一种掩膜版的制作方法,包括以下步骤:S1:基板,面A向上,面B为面A的相对面;S2:分别在面A及面B上涂覆光阻膜,曝光,显影,同时对面A及面B喷刻蚀液同步刻蚀,刻蚀完成后去除光阻膜,形成第一凹部和预凹部;S3:再次在面A及面B上...该专利属于成都拓维高科光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都拓维高科光电科技有限公司授权不得商用。
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本申请公开了一种掩膜版的制作方法,包括以下步骤:S1:基板,面A向上,面B为面A的相对面;S2:分别在面A及面B上涂覆光阻膜,曝光,显影,同时对面A及面B喷刻蚀液同步刻蚀,刻蚀完成后去除光阻膜,形成第一凹部和预凹部;S3:再次在面A及面B上...