下载一种切割面直接生长制备CVD单晶金刚石的工艺的技术资料

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本发明属于单晶金刚石制备工艺技术领域,具体涉及一种切割面直接生长制备CVD单晶金刚石的工艺。本发明针对现有技术中存在的不足,提出了一种切割面直接生长制备CVD单晶金刚石的工艺,通过激光切割精加工的方式降低单晶金刚石的表面粗糙度,并使用CO2...
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