专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
广东越海集成技术有限公司
>
一种检测晶圆预对准偏移的装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种检测晶圆预对准偏移的装置的技术资料
文档序号:35006914
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型属于半导体封装技术领域,公开了一种检测晶圆预对准偏移的装置。该检测晶圆预对准偏移的装置,通过在机架上设置移动机构、夹持机构和检测机构,夹持机构设置在移动机构的移动端上,夹持机构包括托架和定位组件,托架能够承托装载有待检测晶圆的夹具...
该专利属于广东越海集成技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东越海集成技术有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。