下载一种检测晶圆预对准偏移的装置的技术资料

文档序号:35006914

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本实用新型属于半导体封装技术领域,公开了一种检测晶圆预对准偏移的装置。该检测晶圆预对准偏移的装置,通过在机架上设置移动机构、夹持机构和检测机构,夹持机构设置在移动机构的移动端上,夹持机构包括托架和定位组件,托架能够承托装载有待检测晶圆的夹具...
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