下载晶片抛光装置用抛光垫以及用于制造其的设备和方法的技术资料

文档序号:34978071

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本发明提供了一种制造抛光垫的方法,所述方法包括:用于制造非织造垫的步骤;用聚氨酯浸渍非织造垫的聚氨酯浸渍步骤;以及对用聚氨酯浸渍的非织造垫的表面进行抛光的表面抛光步骤,其中实施聚氨酯浸渍步骤和表面抛光步骤,使得表面层和抛光垫内部之间的密度比...
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