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激光加工方法及激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:34978050
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本发明使用激光加工装置(100),其消除了现有的激光加工方法的问题即通过高精度地进行大面积的被加工物整体的开孔加工而减少所要产生的产品数,通过电控反射镜(3a、3b)使从激光振荡器(2)射出的激光(1)进行扫描,使激光(1)在载置于工作台(...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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