温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及的适用于电镀晶圆的高速清洗干燥装置，其包括：清洁盒，其形成有清洁腔、及晶圆入口，其中入口可打开或/和闭合设置；吸盘，其能够绕着竖直方向转动设置，晶圆自电镀面朝上并水平吸附在吸盘上；清洗干燥单元，其包供液部件、及供气部件，其中供...
该专利属于晟盈半导体设备（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晟盈半导体设备（江苏）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。