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本发明涉及一种基于双波长涡旋光自共轭干涉的大量程皮米级位移测量系统及方法，该测量系统包括第一涡旋光发生器、第二涡旋光发生器、第一二维光电传感器、第二二维光电传感器和辅助测量反射镜，且第一涡旋光发生器和第二涡旋光发生器发出的涡旋光的波长不同。...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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