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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:基底上形成有鳍部、以及覆盖部分鳍部的层间介质层,层间介质层中形成有栅极开口,栅极开口中部分高度的鳍部作为沟道鳍部,栅极开口两侧鳍部中形成有源漏掺杂层,其中,源漏掺杂层包括位于栅极开口一侧的漏掺杂层;...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:基底上形成有鳍部、以及覆盖部分鳍部的层间介质层,层间介质层中形成有栅极开口,栅极开口中部分高度的鳍部作为沟道鳍部,栅极开口两侧鳍部中形成有源漏掺杂层,其中,源漏掺杂层包括位于栅极开口一侧的漏掺杂层;...