温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种蚀刻设备转换压力控制装置，用于蚀刻加工系统，蚀刻加工系统包括气体源、输送腔室和反应腔室，气体源与输送腔室连通，输送腔室与反应腔室连通；转换压力控制装置用于检测系统气体压力，包括传输模块和处理模块；传输模块四周均匀设有狭缝...
该专利属于成都高真科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。