下载一种Cd合金旋转靶材的加工方法的技术资料

文档序号:34965234

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本发明公开了一种Cd合金旋转靶材的加工方法,将安装好的Cd合金旋转靶材采用端距粗加工和端距精加工结合的方式,对靶材进行两端端距加工和外圆加工;选择适用的刀具及刀片,按照加工参数进行加工:端距粗加工的走刀速度为0.2
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该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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