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本发明提供一种光电探测器的制造方法。其包括提供衬底;衬底包括具有第一导电类型的衬底本体及位于衬底本体一侧的绝缘层;衬底本体设有朝向绝缘层的具有第一导电类型的第一注入区及具有第二导电类型的第二注入区,第一注入区的掺杂浓度及第二注入区的掺杂浓度...该专利属于杭州海康威视数字技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州海康威视数字技术股份有限公司授权不得商用。
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