下载多晶硅场板及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:34957601

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种多晶硅场板及其制备方法和应用。多晶硅场板包括衬底,在衬底上设有连接区和P+环区;P+环区包括多个隔离岛,每一隔离岛呈框型并结合在衬底表面上,多个隔离岛间隔分布,并依次围合连接区;相邻两隔离岛之间形成框型P+沟道,在P+沟道内...
该专利属于北海惠科半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北海惠科半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。