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本发明涉及一种提高吸收效率的红外热电堆传感器及其MEMS工艺制造方法，属于红外热电堆传感器制造领域；本发明相较于传统的红外热电堆传感器加入了衬底，空心区域以及氮化硅吸收区域，由于传感器的热阻只受悬臂梁的影响，所以增加的氮化硅吸收区域部分不会...
该专利属于常州元晶电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州元晶电子科技有限公司授权不得商用。

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