下载用于沉积有机层的方法和设备的技术资料

文档序号:34942714

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本发明涉及一种用于在基底(16)上沉积有机层的设备,该设备具有:气体混合装置(1),该气体混合装置具有分别用于馈入由通过承载气体输送的先前蒸发的具有大于300g/mol或400g/mol的摩尔质量的有机分子构成的气流(F1、F2)的一个或多...
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