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本实用新型公开了一种晶圆料盘装置，包括安装板，以及设于安装板上方的升降板；安装板上沿竖直方向设有升降组件，升降组件的驱动端连接有升降板；升降板的中部开设有第一贯穿孔，升降板的上端面设有张紧盘组件；安装板的上端面设有张紧基准环，张紧基准环的上...
该专利属于东莞触点智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞触点智能装备有限公司授权不得商用。

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