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本实用新型公开了半导体晶片抛光大盘冷却装置，包括抛光盘，其特征是：所述抛光盘内设有蜗状线形管，所述蜗状线形管的一端固定连通出液管的上端，所述出液管的下端固定连通环形壳体的上侧一端，所述环形壳体的下侧一端固定连通进液管的上端，所述进液管的下端...
该专利属于沈阳晶润半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳晶润半导体材料有限公司授权不得商用。

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