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本实用新型涉及外延生长技术领域，公开了一种外延石墨基座，包括基座本体以及多个载台；载台包括设置在载台内的多个控温凸台、设置在载台边缘处的多个载台台阶，载台具有一底面；多个载台台阶用于放置衬底，衬底面向载台的一面与底面之间的空间为隔温腔体；在...
该专利属于深圳市志橙半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市志橙半导体材料有限公司授权不得商用。

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