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本实用新型公开了一种晶圆防震动系统，包括：晶圆，所述晶圆包括晶圆本体和减重位，所述减重位位于所述晶圆本体的一侧；承片台，所述承片台的顶部为承载面，所述晶圆设于所述承载面；配重组件，所述配重组件连接于所述承片台的一侧。本实用新型解决了晶圆承片...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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