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用于制造半导体器件的方法和半导体器件技术
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文档序号:34909828
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本公开的实施例涉及用于制造半导体器件的方法和半导体器件。一种用于制造半导体器件的方法,包括:提供硅基衬底;在衬底上沉积氧化层;在氧化层上沉积多晶硅层,并且同时在衬底上沉积结晶硅层;基于多晶硅层制造电子器件;将基于玻璃或硅的盖体安装在结晶硅层...
该专利属于英飞凌科技德累斯顿公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技德累斯顿公司授权不得商用。
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