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文档序号:34908743

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本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,至少固定于水平面上的XY方向上,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;移动机构5,使加工机构3...
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