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用于金属特征的无光致抗蚀剂形成的电流体动力喷射打印和电镀制造技术
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下载用于金属特征的无光致抗蚀剂形成的电流体动力喷射打印和电镀的技术资料
文档序号:34908582
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本文中提供了用于在半导体衬底上形成金属特征的方法、墨水、装置以及系统。有利地,本文中的技术不需要使用光致抗蚀剂且可在不需要使用传统处理流程中所用的许多处理及装置的情况下完成。而是使用电流体动力喷射打印沉积包含电镀添加物如加速剂或抑制剂的墨水...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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