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清洁石墨的方法及其设备技术
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文档序号:34905845
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一种清洁石墨的方法包含以下步骤:(A)预备样品,所述样品具有材质为石墨的母材层,及覆盖于所述母材层上的待清除层。(B)调整雷射光的制程参数,使所述雷射光的波长介于1000nm~1200nm间。(C)使所述雷射光照射于所述样品的所述待清除层,...
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