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本发明提出一种晶圆减薄保护膜，主要包括一基材层及一聚氨酯树脂层组合物。其中聚氨酯树脂层组合物至少包括一高温聚氨酯树脂层及一低温聚氨酯树脂层。本发明的晶圆减薄保护膜具有晶圆表面包覆性佳、容易剥除等优点。本发明的制造晶圆减薄保护膜的方法具有成本...
该专利属于明坤科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过明坤科技股份有限公司授权不得商用。

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