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本发明属于半导体行业基板湿法处理领域，具体地说是一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向分别安装有活动pin及固定pin，活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，活动pin的柱体转动安装在承载台上或相对平移地...
该专利属于沈阳芯源微电子设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备股份有限公司授权不得商用。

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