一种基板夹持承载台制造技术

本发明专利技术属于半导体行业基板湿法处理领域，具体地说是一种基板夹持承载台，承载台上沿圆周方向分别安装有活动pin及固定pin，活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，固定pin的柱体固接在承载台上，活动pin的柱体转动安装在承载台上或相对平移地与承载台连接，活动pin和固定pin的夹持块均设置在柱体顶部，活动pin的底部安装有活动磁铁；固定座上安装有升降机构，升降机构的输出端连接有升降磁铁，升降磁铁通过磁力带动活动pin转动或平移，进而夹紧或放开基板；升降磁铁与活动磁铁之间的磁力大小通过升降机构驱动升降磁铁升降进行调节。本发明专利技术通过控制升降机构带动升降磁铁升降，实现活动pin对基板的夹紧与放开，结构简单，控制方便。便。便。

【技术实现步骤摘要】
一种基板夹持承载台


[0001]本专利技术属于半导体行业基板湿法处理领域，具体地说是一种基板夹持承载台。

技术介绍

[0002]目前，半导体领域处理基板硬度、厚度种类越来越多。在基板的湿法处理设备中，对基板的夹持结构复杂，不易控制；再有，对基板的夹持力不可调，对不同基板使用相同的夹持力，会对基板造成伤害；基板与承载台之间在转动过程中会有相对转动，对基板造成磨损。因此，设计一种可实现基板夹持与松开、基板夹持力可调整的基板夹持承载台十分重要。

技术实现思路

[0003]为了满足基板夹持的要求，完成基板湿法处理工艺，本专利技术的目的在于提供一种基板夹持承载台。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]本专利技术包括固定座、电机、承载台及升降CUP，其中电机安装于固定座上，该电机的输出端与所述承载台相连、驱动承载台旋转，所述承载台外围设有可升降的升降CUP；所述承载台上沿圆周方向分别安装有随承载台旋转的活动pin及固定pin，该活动pin与固定pin均包括柱体及夹持块，所述固定pin的柱体固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板夹持承载台，包括固定座、电机、承载台及升降CUP，其中电机安装于固定座上，该电机的输出端与所述承载台相连、驱动承载台旋转，所述承载台外围设有可升降的升降CUP；其特征在于：所述承载台(3)上沿圆周方向分别安装有随承载台(3)旋转的活动pin(7)及固定pin(8)，该活动pin(7)与固定pin(8)均包括柱体及夹持块，所述固定pin(8)的柱体固接在承载台(3)上，所述活动pin(7)的柱体转动安装在承载台(3)上或可相对平移地与承载台(3)连接，所述活动pin(7)和固定pin(8)的夹持块均设置在柱体顶部，所述活动pin(7)的底部安装有活动磁铁(703)；所述固定座(1)上安装有升降机构(4)，该升降机构(4)的输出端连接有升降磁铁(5)，所述升降磁铁(5)通过磁力带动活动pin(7)转动或平移，进而夹紧或放开基板(9)；所述升降磁铁(5)与活动磁铁(703)之间的磁力大小通过升降机构(4)驱动升降磁铁(5)升降进行调节。2.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述升降磁铁(5)的上端为N极或S极、下端为S极或N极，所述活动磁铁(703)的内侧为N极或S极、外侧为S极或N极，所述升降磁铁(5)通过与活动磁铁(703)的吸引或排斥驱动活动pin(7)转动或平移，进而通过所述活动pin(7)的夹持块夹紧或放开基板(9)。3.根据权利要求1所述的基板夹持承载台，其特征在于：所述升降磁铁(5)的外侧为N极或S极、内侧为S极或N极，所述活动磁铁(703)的上端为N极或S极、下端为S极或N极，所述升降磁铁(5)通过与活动磁铁(703)的吸引或排斥驱动活动pin(7)转动或平移，进而通过所述活动pin(7)的夹持块夹紧或放开基板(9)。4.一种基板夹持承载台，包括固定座、电机、承载台及升降CUP，其中电机安装于固定座上，该电机的输出端与所述承载台相连、驱动承载台旋转，所述承载台外围设有可升降的升降CUP；其特征在于：所述承载台(3)上沿圆周方向分别安装有随承载台(3)旋转的活动pin(7)及固定pin(8)，该活动pin(7)与固定pin(8)均包括柱体及夹持块，所述固定pin(8)的柱体固接在承载台(3)上，所述活动pin(7)的柱体转动安装在承载台(3)上或...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑云龙，张伟业，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：