下载芯片转移系统的技术资料

文档序号:34905209

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本发明涉及一种芯片转移系统,在芯片转移时,可直接将承载有待转移芯片的转移基板置入第一腔室,通过吸附控制设备控制对应的第一吸附装置产生的第一吸附力使得芯片与转移基板脱离后,在包括由第一吸附装置产生的第一吸附力和由流体控制设备控制的由第一腔室流...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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