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本申请属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种检测系统。本申请的检测系统包括载片台、镜头、检测器、控制器和反馈器，载片台用于承载待检测件，镜头设于载片台的上方并朝向载片台设置，镜头与载片台间能够沿轴向和/或径向方向相对运动，检测器设于镜头朝...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

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