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本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体的说是一种可探测晶圆边缘的晶圆测试探针座，包括顶板，顶板的底面安装有一号丝杆和与该一号丝杆传动连接的一号电机，一号丝杆上螺纹传动安装有一号滑板，一号滑板的底面安装有二号丝杆和与该二号丝杆传动连接的二号电机...
该专利属于河北西五科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北西五科技有限公司授权不得商用。

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