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本实用新型提供一种复合基座系统，包括：第一基座、导热部、第二基座及射频加热线圈；其中，第一基座的顶面设置有衬底卡槽，导热部位于第一基座下方，第二基座位于导热部下方，第二基座包括相对设置的顶面与底面，第二基座的顶面设置有凹槽，第二基座的横截面...
该专利属于楚赟精工科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过楚赟精工科技（上海）有限公司授权不得商用。

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