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本实用新型公开了一种硅碳棒冷端部的渗硅装置，包括底板，所述底板的上方设置有管式炉体，所述管式炉体的下端面通过角度调节组件与所述底板的上端面连接，所述管式炉体内部设置有用于使硅碳棒冷端部转动的转动组件，所述转动组件包括两个转动轴，两个所述转动...
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