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本发明提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，包括：样品承载台、滑台上座、滑台中座和滑台底座，所述滑台中座在X方向与所述滑台底座滑动连接，所述滑台上座在Y方向上与所述滑台中座滑动连接；所述滑台底座的一侧设置有X轴传动定位座，所述滑台中座的一...
该专利属于西凡仪器（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西凡仪器（深圳）有限公司授权不得商用。

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