本发明专利技术提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，包括：样品承载台、滑台上座、滑台中座和滑台底座，所述滑台中座在X方向与所述滑台底座滑动连接，所述滑台上座在Y方向上与所述滑台中座滑动连接；所述滑台底座的一侧设置有X轴传动定位座，所述滑台中座的一侧设置有X轴丝杆螺母座，所述样品承载台安装在所述滑台上座上，其能使X射线荧光光谱镀层检测仪实现被检微小件样品位置的精确定位，提高检测效率。本发明专利技术中的平面XY微动机械装置可方便的安装在镀层测厚仪上，在关上仪器防护盖后可调整待检物品位置，保证待检物品位置可控性的同时保护操作安全性。护操作安全性。护操作安全性。
【技术实现步骤摘要】
镀层测厚仪的平面XY微动装置
[0001]本专利技术涉及X射线荧光光谱仪镀层检测领域，特别涉及一种镀层测厚仪的平面XY微动装置。
技术介绍
[0002]电镀是国民经济中必不可少的基础工艺性行业，要提高电镀企业的实力就必须从企业的硬件着手，而内部管控测试是必不可少的环节。电镀，就是通过电化学的方法，将一种金属或金属化合物镀覆到基体上的工艺。电镀的基本原材料就是锌、镍、铜、铬及金、银等重金属。镀层测量已成为金属加工业进行成品质量检测必备的重要工序之一，是产品达到优质标准的必备手段。目前，国内外已普遍按统一的国际标准测定镀层厚度，镀层无损检测的方法和仪器的选择随着材料物理性质研究方面的进步而变得更加重要。
[0003]但是，现有技术的镀层测厚仪的平面XY微动装置采用各轴的控制旋钮与各轴同轴，或控制旋钮同时垂直两轴的结构，不利于布置在在X射线荧光光谱镀层检测仪上。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，以解决至少一个上述技术问题。
[0005]为解决上述问题，作为本专利技术的一个方面，提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，包括：样品承载台、滑台上座、滑台中座和滑台底座，所述滑台中座在X方向与所述滑台底座滑动连接，所述滑台上座在Y方向上与所述滑台中座滑动连接；
[0006]所述滑台底座的一侧设置有X轴传动定位座，所述滑台中座的一侧设置有X轴丝杆螺母座，所述样品承载台安装在所述滑台上座上；
[0007]X轴传动丝杆的一端与所述X轴传动定位座的一端可枢转地连接，所述X轴传动定位座的另一端可枢转地安装有Y轴传动花键轴，所述X轴传动丝杆的另一端可枢转地穿设在所述Y轴传动花键轴中，所述X轴丝杆螺母座安装在所述X轴传动丝杆上，所述Y轴传动花键轴上安装有Y轴传动锥齿轮；
[0008]所述滑台中座的另一侧设置有Y轴传动定位座，所述滑台上座的一侧设置有Y轴丝杆螺母座；
[0009]所述Y轴传动定位座上可枢转地安装有Y轴传动丝杆，所述Y轴丝杆螺母座安装在所述Y轴传动丝杆上，所述Y轴传动丝杆的一端设置有用于与所述Y轴传动锥齿轮配合的Y轴从动锥齿轮；
[0010]所述X轴传动丝杆与所述Y轴传动丝杆垂直设置，所述X轴传动丝杆的一端设置有X轴旋转驱动部，所述Y轴传动花键轴上设置有Y轴旋转驱动部。
[0011]优选地，所述滑台中座通过X方向交叉滚珠直线导轨安装在所述滑台底座上，所述滑台上座通过Y方向交叉滚珠直线导轨安装在所述滑台中座上。
[0012]优选地，所述X轴传动定位座的一个轴承孔内背对背地安装有两个用于与所述X轴
传动丝杆连接的第一角接触球轴承，所述X轴传动定位座的另一个轴承孔内安装有两个用于与所述Y轴传动花键轴连接的第一深沟球轴承。
[0013]优选地，所述X轴丝杆螺母座的远离所述Y轴传动锥齿轮的一端设置有X轴梯形螺母，所述X轴梯形螺母与所述X轴传动丝杆螺纹连接且通过螺钉与所述X轴丝杆螺母座连接。
[0014]优选地，所述X轴丝杆螺母座的轴承孔内设置有自润滑轴承，所述Y轴传动花键轴上依次安装有Y轴传动锥齿轮、波形垫片、阻尼定距传动花键套，所述阻尼定距传动花键套的一端套入所述自润滑轴承中。
[0015]优选地，远离所述X轴传动丝杆的Y轴传动定位座上面对面安装有两个用于与所述Y轴传动丝杆连接的第二角接触球轴承，靠近所述X轴传动丝杆的Y轴传动定位座上安装有用于与所述Y轴传动丝杆连接的第二深沟球轴承。
[0016]优选地，所述Y轴丝杆螺母座的远离所述Y轴从动锥齿轮的一端设置有Y轴梯形螺母，所述Y轴梯形螺母与所述Y轴传动丝杆螺纹连接且通过螺钉与所述Y轴丝杆螺母座连接。
[0017]优选地，所述Y轴丝杆螺母座的内部依次设置有预紧压簧和消隙螺母。
[0018]优选地，所述样品承载台通过十字沉头螺钉对准滑台上座侧面的安装孔紧固，所述样品承载台的定位孔中设置有承载膜、承载环、承载膜压环，其中，所述承载膜放在承载环与承载膜压环中间。
[0019]优选地，所述X轴传动定位座上安装有X轴护罩，所述Y轴传动定位座上安装有Y轴护罩。
[0020]本专利技术中的平面XY微动机械装置，能使X射线荧光光谱镀层检测仪实现被检微小件样品位置的精确定位，特别是当需要多点测试时，无需重复开盖即可通过平面XY微动装置移动待检物品检测区域，实现了多点任意位置的精确定位，提高了检测效率。本专利技术中的平面XY微动机械装置可方便的安装在镀层测厚仪上，在关上仪器防护盖后可调整待检物品位置，保证待检物品位置可控性的同时保护操作安全性。
附图说明
[0021]图1示意性地示出了本专利技术中的平面XY微动装置的分解图；
[0022]图2示意性地示出了本专利技术中的平面XY微动装置的主视图；
[0023]图3示意性地示出了本专利技术中的平面XY微动装置的俯视图；
[0024]图4示意性地示出了本专利技术中的平面XY微动装置的仰视图；
[0025]图5示意性地示出了本专利技术中的平面XY微动装置的剖视图；
[0026]图6示意性地示出了镀层测厚仪的结构示意图；
[0027]图7示意性地示出了镀层测厚仪的内部结构示意图。
[0028]图中附图标记：1、承载环；2、承载膜；3、十字沉头螺钉；4、承载膜压环；5、样品承载台；6、滑台上座；7、滑台中座；8a、X轴交叉滚柱直线导轨；8b、Y轴交叉滚柱直线导轨；9、滑台底座；10、X轴传动定位座；11、角接触球轴承预紧螺母；12、角接触球轴承压盖；13、X轴传动丝杆；14a、X轴梯形螺母；14b、Y轴梯形螺母；15、X轴丝杆螺母座；16、翻边自润滑轴承；17、阻尼定距传动花键套；18、波形垫片；19、Y轴传动锥齿轮；20、Y轴传动花键轴；21、X轴护罩；22、Y轴旋转驱动部；23、X轴旋转驱动部；24、Y轴从动锥齿轮；25、Y轴护罩；26、Y轴传动定位座；27、Y轴丝杆螺母座；28、Y轴传动丝杆；29、滑台固定片；30、内六角圆柱头螺；31、第二角接触
球轴承；32、预紧压簧；33、消隙螺母；34a、第一深沟球轴承；34b、第二深沟球轴承；35、轴用挡圈；36、深沟球轴承预紧螺母；37、深沟球轴承压盖；38、波形垫片；39、内六角沉头螺钉；40、第一角接触球轴承；41、镀层测厚仪；42、仪器防护盖；43、仪器本体；44、平面XY微动机械装置。
具体实施方式
[0029]以下对本专利技术的实施例进行详细说明，但是本专利技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0030]作为本专利技术的一个方面，提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，包括：样品承载台5、滑台上座6、滑台中座7和滑台底座9，所述滑台中座7在X方向与所述滑台底座9滑动连接，所述滑台上座6在Y方向上与所述滑台中座7滑动连接。其中，平面XY微动装置43由滑台底座9和滑台固定29通过内六角圆柱头螺27与内六角沉头螺钉39，安装在镀层测厚仪41的台面上。
[0031]所述滑台底座9本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，包括：样品承载台(5)、滑台上座(6)、滑台中座(7)和滑台底座(9)，所述滑台中座(7)在X方向与所述滑台底座(9)滑动连接，所述滑台上座(6)在Y方向上与所述滑台中座(7)滑动连接；所述滑台底座(9)的一侧设置有X轴传动定位座(10)，所述滑台中座(7)的一侧设置有X轴丝杆螺母座(15)，所述样品承载台(5)安装在所述滑台上座(6)上；X轴传动丝杆(13)的一端与所述X轴传动定位座(10)的一端可枢转地连接，所述X轴传动定位座(10)的另一端可枢转地安装有Y轴传动花键轴(20)，所述X轴传动丝杆(13)的另一端可枢转地穿设在所述Y轴传动花键轴(20)中，所述X轴丝杆螺母座(15)安装在所述X轴传动丝杆(13)上，所述Y轴传动花键轴(20)上安装有Y轴传动锥齿轮(19)；所述滑台中座(7)的另一侧设置有Y轴传动定位座(26)，所述滑台上座(6)的一侧设置有Y轴丝杆螺母座(27)；所述Y轴传动定位座(26)上可枢转地安装有Y轴传动丝杆(28)，所述Y轴丝杆螺母座(27)安装在所述Y轴传动丝杆(28)上，所述Y轴传动丝杆(28)的一端设置有用于与所述Y轴传动锥齿轮(19)配合的Y轴从动锥齿轮(24)；所述X轴传动丝杆(13)与所述Y轴传动丝杆(28)垂直设置，所述X轴传动丝杆(13)的一端设置有X轴旋转驱动部(23)，所述Y轴传动花键轴(20)上设置有Y轴旋转驱动部(22)。2.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，所述滑台中座(7)通过X方向交叉滚珠直线导轨(8a)安装在所述滑台底座(9)上，所述滑台上座(6)通过Y方向交叉滚珠直线导轨(8b)安装在所述滑台中座(7)上。3.根据权利要求1所述的镀层测厚仪的平面XY微动装置，其特征在于，所述X轴传动定位座(10)的一个轴承孔内背对背地安装有两个用于与所述X轴传动丝杆(13)连接的第一角接触球轴承(40)，所述X轴传动定位座(10)的另一个轴承孔内安装有两个用于与所述Y轴传动花键轴(20)连接的第一深沟球轴承(34a)...
【专利技术属性】
技术研发人员：张操操，邵波，姚伟杏，
申请(专利权)人：西凡仪器深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。