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本发明公开了一种芯片分选机的华芙盘供料系统,其涉及芯片生产技术领域。其技术方案要点包括支撑架、料盘储存机构、料盘存取机构、收料机构以及料盘转移机构,支撑架包括两个支撑竖板,两个支撑竖板之间设置有两个支撑横板,料盘储存机构包括多个储存工位,储...该专利属于卓尔半导体设备(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过卓尔半导体设备(苏州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种芯片分选机的华芙盘供料系统,其涉及芯片生产技术领域。其技术方案要点包括支撑架、料盘储存机构、料盘存取机构、收料机构以及料盘转移机构,支撑架包括两个支撑竖板,两个支撑竖板之间设置有两个支撑横板,料盘储存机构包括多个储存工位,储...