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本申请实施例提供一种硅片生产系统,包括:切片机,用于将硅棒切割成硅片,并将硅片及晶托组件放置工装篮内;运输小车,用于将工装篮运送至脱胶装置;脱胶装置,内部设有用于容纳运输小车的停留空间;所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理;插洗装置...该专利属于乐山高测新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山高测新能源科技有限公司授权不得商用。
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本申请实施例提供一种硅片生产系统,包括:切片机,用于将硅棒切割成硅片,并将硅片及晶托组件放置工装篮内;运输小车,用于将工装篮运送至脱胶装置;脱胶装置,内部设有用于容纳运输小车的停留空间;所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理;插洗装置...