下载一种微流控芯片的封装平台的技术资料

文档序号:34856079

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本实用新型公开一种微流控芯片的封装平台,包括一可分解的密封腔体,以及一可由外力的驱动下在腔体内完成下压动作的压盘,和一与密封腔体连通的、用于与真空装置配合在密封腔体内制造真空环境的调节阀。基于本实用新型的微流控芯片基片及盖片用压敏胶在封接后...
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