下载双头固晶装置的技术资料

文档序号:34854553

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本发明涉及半导体晶片处理设备技术领域,公开了一种双头固晶装置,包括固定连接板,所述固定连接板下方通过设置横向直线驱动模块连接横梁基座,所述横梁基座下安装纵向直线驱动模块,在纵向直线驱动模块前下方的动子上连接矩形音圈垂直升降模块,矩形音圈垂直...
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