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一种基于稳压控制控温的碳化硅生长装置制造方法及图纸
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下载一种基于稳压控制控温的碳化硅生长装置的技术资料
文档序号:34853659
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本发明公开了一种基于稳压控制控温的碳化硅生长装置,涉及碳化硅生产技术领域,本发明包括装置板,所述装置板的顶部固定连接有装置筒,在装置筒的内部固定连接有储料筒,所述装置筒和储料筒之间形成空心腔,所述储料筒的顶部卡接有密封盖板,所述密封盖板的顶...
该专利属于安徽德徽创芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽德徽创芯科技有限公司授权不得商用。
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