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本发明提供了一种交叉指形电极有源器件及其光器件，包括：衬底层；配置在所述衬底层上的硅波导层，以及配置在所述硅波导层上的硅脊波导层，其中，所述硅波导层和硅脊波导层配置为定向引导电磁波且能够对光进行分束；设置在所述硅波导层第一侧的多个第一电极，...
该专利属于三明学院所有，仅供学习研究参考，未经过三明学院授权不得商用。

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