下载用于晶圆搬运的自动倒片机的技术资料

文档序号:34839573

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本实用新型公开了一种用于晶圆搬运的自动倒片机,包括工作台和连接于工作台的升降组件,升降组件设有三组且包括一号组件、二号组件和三号组件,一号组件、二号组件和三号组件阵列式连接于工作台;工作台上连接有配合一号组件、二号组件或三号组件使用且用于存...
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