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本发明涉及离子注入装置及离子注入方法，在具备线性加速装置的离子注入装置中，可加速射束能量的调整。本发明的离子注入装置(100)具备：离子源(10)，生成离子；引出部(10a)，通过从离子源(10)引出离子并使其加速来生成离子束；线性加速装置...该专利属于住友重机械离子科技株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械离子科技株式会社授权不得商用。
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