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本实用新型提供一种运输晶圆的推车装置，包括推车车体及至少一承载层板，其中推车本体包括支撑框、车轮组件与多根支撑柱，车轮组件位于支撑框下方，支撑柱垂直设于支撑框上方并与支撑框连接，承载层板位于多根支撑柱围成的内部空间并与支撑柱连接，承载层板具...
该专利属于上海先进半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海先进半导体制造有限公司授权不得商用。

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