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晶片清洗装置和蓝宝石晶片生产系统制造方法及图纸
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文档序号:34822866
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本实用新型涉及蓝宝石晶片清洗领域,公开了一种晶片清洗装置和蓝宝石晶片生产系统,晶片清洗装置包括沿生产流水线方向依次设置的晶片拾取台、清洗台和花篮放置台;清洗台包括清洗槽和设置在清洗槽上方的可升降旋转装置,该可升降旋转装置用以将放置在晶片拾取...
该专利属于甘肃旭晶新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甘肃旭晶新材料有限公司授权不得商用。
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