温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种取放料机械手及取放料设备，包括安装架、旋转机构、伸缩机构、置料托板和负压机构；安装架上安装有旋转机构，旋转机构上设置有伸缩机构，伸缩机构的伸缩端与置料托板连接，伸缩机构的伸缩端或者置料托板上设置有...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。