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本发明提供一种显示面板及其制备方法,本发明在剥离光阻图案之前,在辅助层和栅极的两侧均制备有致密的保护层,栅极的材料为金属铜,栅极的两侧形成的保护层为氧化铜膜层或者氧化铜和氧氟化铜叠加膜层,辅助层的材料为金属钼,辅助层的两侧形成的保护层为氧化...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种显示面板及其制备方法,本发明在剥离光阻图案之前,在辅助层和栅极的两侧均制备有致密的保护层,栅极的材料为金属铜,栅极的两侧形成的保护层为氧化铜膜层或者氧化铜和氧氟化铜叠加膜层,辅助层的材料为金属钼,辅助层的两侧形成的保护层为氧化...