下载各向异性导电胶膜互连电气失效可视化分析芯片制备方法的技术资料

文档序号:34807845

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本发明公开了一种各向异性导电胶膜互连电气失效可视化分析芯片制备方法,所述可视化分析芯片包括芯片和基板,所述芯片包括单晶硅基底和设置在单晶硅基底上的多个凸点尺寸的凸点,所述基板包括二氧化硅基底和设置在二氧化硅基底上的ITO导电线和焊盘,所述可...
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