下载一种用于半导体芯片封装工艺的加热装置及其夹具的技术资料

文档序号:34802362

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本实用新型公开了一种用于半导体芯片封装工艺的加热装置及其夹具,包括设置于加热装置上方的夹板,所述夹板上分别开设有打线窗口和排气口,所述夹板的内部还开设有储气腔,所述进气管安装于夹板的上表面,所述储气腔和打线窗口之间开设连通有输气管,所述第二...
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