温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出了一种用于薄膜滤波器的薄膜浓度掺杂方法。所述薄膜浓度掺杂方法包括：根据所述薄膜滤波器结构要求确定所述薄膜滤波器的压电层结构内部所需包含的掺钪压电子层的层数和所述每个掺钪压电子层的厚度；依据所述压电层结构内部所需包含的掺钪压电子层的...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。